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半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理工藝
半導(dǎo)體行業(yè)的廢氣主要包括一般氣體廢氣、含毒性物質(zhì)的廢氣、有機(jī)廢氣和含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣。其中,有機(jī)廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等,酸堿廢氣包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的產(chǎn)生主要來自半導(dǎo)體制造過程中的清洗、刻蝕、顯影等環(huán)節(jié)。
對于這些半導(dǎo)體廢氣處理,需要根據(jù)其性質(zhì)選擇合適的方法,如洗滌法、吸附法、燃燒法等。同時(shí),還需要注意控制處理效果,確保廢氣排放符合的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
半導(dǎo)體廢氣處理方法有多種,主要包括以下幾種:
熱氧化法:將廢氣在高溫下與氧氣進(jìn)行反應(yīng),將有機(jī)物氧化分解為無害物質(zhì)。這種方法能夠高效處理廢氣中的有機(jī)物,但需要消耗大量的能源,同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生二氧化碳等溫室氣體。
活性炭吸附法:利用活性炭的吸附作用去除廢氣中的有機(jī)物。這種方法不需要消耗能源,同時(shí)也可以回收利用吸附劑中的有機(jī)物。
化學(xué)洗滌法:通過液體自身的溶解特性,更好地捕捉沉降和溶解去除污染物,從而達(dá)到大氣排放標(biāo)準(zhǔn)。這種方法是半導(dǎo)體行業(yè)酸堿廢氣治理普遍采用的主要處理方法。
吸附濃縮法:沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮裝置主要用于有機(jī)廢氣的治理,特別適合于大風(fēng)量、低濃度場合。對大風(fēng)量、低濃度的VOCs廢氣,TO直燃爐一般會(huì)搭配沸石轉(zhuǎn)輪使用。
焚燒處理技術(shù):通過熱氧化將有機(jī)物轉(zhuǎn)化為CO2和H20。同時(shí),焚燒對處理穩(wěn)定流量和濃度的廢氣也是一種很好的方法。為節(jié)省燃料使用,通常還使用熱交換器,回收焚燒產(chǎn)生的熱量對進(jìn)口氣體進(jìn)行預(yù)熱。
在實(shí)際應(yīng)用中,需要根據(jù)廢氣的種類、濃度、產(chǎn)生量等因素選擇合適的處理方法,并注意控制處理效果,確保廢氣排放符合國家和地方的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
來源:環(huán)保
- 上一條生物濾池除臭設(shè)備
- 下一條廢氣凈化水噴淋塔裝置